5月19日，深圳中科飞测科技股份有限公司(简称“中科飞测”)正式登陆上交所科创板，股票代码为“688361”，标志着企业向高质量发展迈出了坚实步伐。

中科飞测董事长陈鲁表示，未来，公司将继续深耕集成电路领域，不断丰富产品种类及拓宽产品市场覆盖广度和深度，不断提升公司核心竞争力。同时，公司将一如既往地致力于解决国家重大科技需求，提升我国半导体质量控制设备的国产化率，促进国内集成电路产业链持续稳定发展。

注重差异化发展营业收入稳增长

(相关资料图)

中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

质量控制设备为集成电路生产过程中的核心设备之一，是保证芯片生产良品率的关键。业内人士指出，随着集成电路工艺节点的提高，制造工艺的步骤将不断增加，工艺中产生的致命缺陷数量也会随之增加，因此每一道工序的良品率都要保持在几乎“零缺陷”的极高水平才能保证最终芯片的良品率。

记者了解到，集成电路质量控制包括前道检测、中道检测和后道测试，其中，前道检测主要以光学和电子束等非接触式手段，针对光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、CMP等晶圆制造环节的质量控制的检测。

“目前在前道检测、中道检测和后道测试领域有不同程度发展，其中，国内多家涉及后道测试，涉及前道检测和中道检测相对较少。”中科飞测相关负责人表示，基于坚持创新及差异化发展战略，公司依托多年在光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域的深耕积累和自主创新，得以向集成电路前道制程、先进封装等企业以及相关设备、材料厂商提供关键质量控制设备。

招股书披露，中科飞测主要产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技（600584）、华天科技（002185）、通富微电（002156）等国内主流集成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。财务数据显示，报告期(指2020年、2021年和2022年，下同)内，中科飞测营业收入分别为23758.77万元、36055.34万元及50923.53万元，复合增长率达到了46.40%，呈持续快速增长趋势。

加大研发投入完善业务布局

半导体设备领域存在较高的技术、资金及产业协同等壁垒。与国外企业相比，国内企业进入该领域时间较晚，整体实力和规模与国外竞争对手存在较大差距。然而，经过多年来的不懈追赶，国内以中科飞测为代表的企业技术水平迅速提高，国产化设备在部分领域实现了从无到有的突破。[page]

最近3年，中科飞测在研发创新上的投入累计高达3.47亿元，占总营业收入比例为31.33%。通过多年自主研发投入，公司在质量控制设备领域实现了多项技术突破与创新，掌握了一系列的核心技术。截至本招股书签署日，公司拥有专利353项，在行业竞争中拥有较强的技术优势。

招股书显示，目前，中科飞测已有多台设备在28nm产线通过验收，另有对应1Xnm产线的SPRUCE-900型号设备正在研发中，对应2Xnm以下产线的DRAGONBLOOD-600型号设备正在产线进行验证，并已取得两家客户的订单。

中科飞测表示，作为国内半导体质量控制设备领域的先行者，公司已有多系列设备实现量产出货，包括但不限于应用于集成电路前道制程和先进封装领域的生产制造企业及相关设备。随着公司对技术研发的持续投入，将进一步完善公司的产品布局，保持公司核心技术的先进性，提高公司的盈利能力。

主动强优势补短板募资助力业绩增长

近年来，受益于中国集成电路行业的快速发展，中国已经成为全球最大的半导体检测与量测设备市场。根据VLSI Research的统计，2016年至2020年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为31.6%，显著高于全球半导体设备和检测和量测设备市场增速。随着我国半导体产业产能扩张仍在继续，本土企业将受益于中国半导体行业的整体发展。

“随着公司业务不断扩大，公司产品种类不断增加，目前研发生产及测试场地不足的问题日益明显。”中科飞测在招股书中坦言。

为解决上述问题，促进公司未来主营业务的持续增长，中科飞测此次上市募集资金主要投向产能建设及研发创新。招股书披露，中科飞测拟使用募集资金10亿元用于“高端半导体质量控制设备产业化项目”“研发中心升级建设项目”和补充流动资金。

其中，“高端半导体质量控制设备产业化项目”将通过新建现代化的洁净生产车间，购置先进的软硬件设备，引入行业专业人才，建设高端半导体质量控制设备产业化基地；“研发中心升级建设项目”将通过购置先进的研发、测试设备，引进优秀技术人才，实现公司现有研发平台的优化升级。

中科飞测表示，未来三年，公司将持续以提供优秀性能和较高性价比的高端半导体质量控制设备为目标，以推动我国检测和量测设备国产化为己任，为我国半导体产业生态体系的完善和国产半导体设备从弱到强的转变贡献自身力量。